현재 온도 상태 유지

Plate(시료에 표면에 접촉)부위에 온도 상태를 항상 일정하게 유지하는 온도 제어 시스템이며, 온도센서 피드백에 의해 항상 현재 온도를 파악하여 필요한 경우 열전소자(펠티어 소자)로 온도를 보정한다.

정밀 온도 검출

측온저항체(RTD)은 높은 정밀도 온도측정이 가능하다.

펠티어 현상에 의한 온도 제어

전류의 방향에 따라 열의 발생 또는 냉각이 가능하다.

열전도율 향상

기존 황동 재질에 비해 세라믹스(SiC) 열 팽창 계수(10⁶)가 낮아 열전도율이 높다